| 发明名称 | 流体控制装置和热处理装置 | ||
| 摘要 | 在一个气体管路(13)上设置流体控制器(13g)，而且在气体管路(13)的流量控制器(13g)的上游设置压力控制系统区域(14)。设置有从气体管路(13)的上游沿着与气体管路(13)垂直的方向延伸的延长部(15)，使不同种类的处理气体(A)、(B)、(C)的供给源与延长部(15)连接。 | ||
| 申请公布号 | CN1586001A | 申请公布日期 | 2005.02.23 |
| 申请号 | CN03800067.9 | 申请日期 | 2003.02.07 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 冈部庸之;大仓成幸 |
| 分类号 | H01L21/205;G05D7/06;F16K27/00;F17D1/02;B01J4/00;C23C16/455;H01L21/02 | 主分类号 | H01L21/205 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种流体控制装置，其特征在于：包括：气体管路，该气体管路具有配置了流量控制机构的第一区域、和位于所述第一区域的上游并且配置有压力调整机构和压力监视机构中至少之一的第二个区域；和多个连接机构，该多个连接机构设置在所述气体管路的所述第二区域的上游，可分别地连接流体供给源。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||