微型陶瓷坩埚之制造方法

摘要

本发明系关于一种微型陶瓷坩埚之制造方法，主要系采陶瓷粉末射出成形一薄壁且厚薄及重量均为相同之陶瓷坩埚；其制程依序为开模、混链、射出成形、脱脂及烧结等步骤，藉由陶瓷粉末射出成形之推进压力一定，而予以成形结构致密化之陶瓷坩埚，以利于提升其强度、简化制作程序，相对的，亦可降低制造成本者。

主权项

一种微型陶瓷坩埚之制造方法,其制法为: (a)开模:利用金属透气材质制作成具多模穴之公、 母模具及心模,模穴内径与心模外径之间距即为坩 埚之壁厚大小; (b)混链:将黏结剂及陶瓷粉末均匀混合形成陶瓷泥 浆,其黏结剂黏度小于1000Pa.s,而陶瓷粉末之晶粒亦 小于1m; (c)射出成形:将陶瓷泥浆均匀射出于模具模穴与心 模之间距内,其最大射出量为5cc,温度为120℃到180 ℃之间,而时间则控制在5至10秒,压力则处于80到150 Mpa之间; (d)脱脂:将坩埚生胚置入内有溶剂的容器中浸泡加 热,依设定的温度(50-60℃)到达后在一定时间内将 黏结剂溶出,藉以进行脱脂,使坩埚生胚内之黏结 剂得予被溶剂释出; (e)烧结:将脱脂后之半成品放置于高温烧结炉内, 设定烧结温度1600℃,烧结时间≦2小时,在充满空气 炉环境下,将已脱脂完成之坩埚生胚予以烧结成形 。