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发明名称 APPARATUS FOR PROVIDING GAS HAVING 3-DIMENSION FLOW PATH AND ETCHING CHAMBER CONTAINING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060015392(A) 申请公布日期 2006.02.17
申请号 KR20040064121 申请日期 2004.08.14
申请人 ADAPTIVE PLASMA TECHNOLOGY CORPORATION 发明人 OH, SANG YOUNG;PARK, SEOUNG MO;CHUNG, WOO YOUNG;OH, YOUNG KUN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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