摘要 |
Zwei Signalgeber (1, 2) tasten eine relativ zu den Signalgebern (1, 2) bewegbare Maßverkörperung (3) mit einer Vielzahl äquidistant angeordneter Maßteilungen (5) ab und liefern hiermit korrespondierende Messsignale (x, y). Die Messsignale (x, y) sind bei gleichförmiger Relativbewegung der Maßverkörperung (3) periodisch, im Wesentlichen sinusförmig und im Wesentlichen um 90 DEG relativ zueinander phasenversetzt. Sie weisen eine im Wesentlichen gleiche Amplitude (a) und eine mit der Relativbewegung der Maßverkörperung (3) korrespondierende Grundfrequenz (fG) auf. Die Maßverkörperung (3) führt während einer Periode der Messsignale (x, y) eine Relativbewegung um eine Maßteilung (5) aus. Aus den Messsignalen (x, y) werden unter Heranziehung von Korrekturwerten (x¶0¶, y¶0¶, m, DELTA, c¶q¶, d¶q¶) korrigierte Signale (x¶cc¶, y¶cc¶) ermittelt, anhand derer wiederum ein Lagesignal (phi¶cc¶) der Maßverkörperung (3) relativ zu den Signalgebern (1, 2) ermittelt wird. Für die korrigierten Signale (x¶cc¶, y¶cc¶) oder mindestens ein aus den korrigierten Signalen (x¶cc¶, y¶cc¶) abgeleitetes Zusatzsignal (r¶cc¶, r¶cc¶·2·, deltax, deltay) werden auf die Grundfrequenz (fG) bezogene Fourierkoeffizienten (E¶i¶, F¶i¶, XR¶q¶, XI¶q¶, YR¶q¶, YI¶q¶) ermittelt, anhand derer wiederum die Korrekturwerte (x¶0¶, y¶0¶, m, DELTA, c¶q¶, d¶q¶) nachgeführt werden. Diese Korrekturwerte (x¶0¶, y¶0¶, m, DELTA, c¶q¶, d¶q¶) umfassen zwei Offsetkorrekturwerte (x¶0¶, y¶0¶), mindestens einen Amplitudenkorrekturwert (m) und mindestens ...
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