Arraysubstrat für ein LCD sowie zugehöriges Herstellverfahren

摘要

Es werden ein Arraysubstrat eines LCDs und ein Verfahren zum Herstellen desselben, das den Herstellprozess vereinfacht, um dadurch die Herstellkosten zu senken, offenbart. Der Prozess ist vereinfacht, da das Arraysubstrat über keinen Passivierungsfilm verfügt. Die Dünnschichttransistoren auf dem Arraysubstrat verfügen jeweils über eine aktive Schicht, die dadurch gegen Verunreinigungen geschützt ist, dass durch einen Trockenätzprozess eine Kanalisolierschicht auf ihr hergestellt ist. Ferner können die Gateleitung, der Gate-Kontaktfleck und die Gateelektrode über eine Zweischichtstruktur mit einer Metallschicht niedrigen Widerstands und einer Barrieremetallschicht oder eine Dreischichtstruktur mit einer Metallschicht niedrigen Widerstands und zwei Barrieremetallschichten verfügen.