| 发明名称 |
Polishing apparatus |
| 摘要 |
A polishing apparatus comprises a polishing tool, a substrate holding member, and a sensor for detecting a failure of a substrate to be polished.
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| 申请公布号 |
US6997778(B2) |
申请公布日期 |
2006.02.14 |
| 申请号 |
US20030644766 |
申请日期 |
2003.08.21 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
ONO KOJI;OGURI SHOZO;SASABE KENICHI;KURITA MASATO;KOJIMA YASUHISA;EGAWA TADANORI;SHIGETA KENICHI |
| 分类号 |
B24B37/00;B24B37/04;B24B37/30;B24B49/10;B24B49/16;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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