| 主权项 |
1.一种电容器结构,包括: 多数层导电层,彼此堆叠配置,且各该些导电层具 有彼此交错对应配置之一第一螺旋图案与一第二 螺旋图案,其中相邻的二该些导电层中的该第一螺 旋图案系彼此不完全重叠对应配置以及/或是相邻 的二该些导电层中的该第二螺旋图案系彼此不完 全重叠对应配置; 一介电层,配置在该第一螺旋图案与该第二螺旋图 案之间,以及配置在相邻的二该些导电层之间; 至少一第一接触窗,配置在该介电层中,以使相邻 的二该些导电层中的该第一螺旋图案彼此电性连 接;以及 至少一第二接触窗,配置在该介电层中,以使相邻 的二该些导电层中的该第二螺旋图案彼此电性连 接。 2.如申请专利范围第1项所述之电容器结构,其中该 第一螺旋图案包括一圆弧形之螺旋图案。 3.如申请专利范围第1项所述之电容器结构,其中该 第一螺旋图案包括一矩形之螺旋图案。 4.如申请专利范围第1项所述之电容器结构,其中该 第二螺旋图案包括一圆弧形之螺旋图案。 5.如申请专利范围第1项所述之电容器结构,其中该 第二螺旋图案包括一矩形之螺旋图案。 6.如申请专利范围第1项所述之电容器结构,其中相 邻的二该些导电层中的该第一螺旋图案藉由该第 一接触窗串联在一起。 7.如申请专利范围第1项所述之电容器结构,其中相 邻的二该些导电层中的该第二螺旋图案藉由该第 二接触窗串联在一起。 图式简单说明: 图1A是本发明第一实施例的一种电容器之上视示 意图。 图1B是由图1A之I-I'剖面所得之剖面示意图。 图2A是本发明第一实施例的另一种电容器之上视 示意图。 图2B是由图2A之II-II'剖面所得之剖面示意图。 图3是本发明第二实施例的一种电容器之剖面示意 图,其中此电容器系由至少两层且彼此电性连接之 导电层所构成。 图4A是在图3之电容器中,第2n-1层(n为大于1之整数) 的导电层之上视示意图,且图3系为由图4A之III-III' 剖面所得之剖面示意图。 图4B是在图3之电容器中,第2n层(n为大于I之整数)的 导电层之上视示意图,且图3系为由图4B之III-III'剖 面所得之剖面示意图。 图5是本发明第二实施例的另一种电容器之剖面示 意图。 图6是本发明第二实施例的又一种电容器之剖面示 意图。 |
