Gasmessfühler und Herstellungsverfahren dafür

摘要

Ein mehrlagiger Gasmessfühler (1) enthält ein Festelektrolytsubstrat (11). Auf den Oberflächen des Festelektrolytsubstrats (11) sind eine messgasseitige Elektrode (21) und eine Bezugselektrode (22) vorgesehen. Die messgasseitige Elektrode (21) ist in einer Messgaskammer (23) vorgesehen. Eine Einlasslochschicht (15) hat ein Einlassloch (150), um ein Messgas von einer Umgebungsatmosphäre in die Messgaskammer (23) einzulassen und um dem in die Messgaskammer (23) eingelassenen Messgas einen Diffusionswiderstand zu verleihen. Bei der Herstellung dieses Gasmessfühlers (1) wird das Einlassloch (150) durch Durchführen einer Laserbestrahlung auf der Einlasslochschicht (15) ausgebildet.