| 发明名称 |
APPARATUS FOR MATCHING RF POWER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20060011011(A) |
申请公布日期 |
2006.02.03 |
| 申请号 |
KR20040059644 |
申请日期 |
2004.07.29 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, JONG JUN |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/00;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
