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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PARTIKELWAHRNEHMUNG MITTELS EINER SENSORANORDNUNG MIT BEWEGLICHEM TEIL
摘要
申请公布号 DE60113526(D1) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 DE20016013526 申请日期 2001.04.18
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC., GLOUCESTER 发明人 FANG, ZIWEI;WALTHER, R.;FELCH, B.;SONICO, S.
分类号 H01J37/04;H01J37/02;H01J37/244;H01J37/317 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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