发明名称 阳极化处理设备
摘要 一种阳极化处理设备,包括,在用于阳极化处理的基片的周边部分,有与基片的背面接触的第一电极和与第一电极相对的第二电极,在它们之间插入基片;第一电极具有与第二电极大体相同的形状。该设备可用于以小力分离薄膜半导体层,所述薄膜半导体层几乎无裂、断或损,可高效率地制造高性能的产品。
申请公布号 CN1239754C 申请公布日期 2006.02.01
申请号 CN200410032371.4 申请日期 2000.06.08
申请人 佳能株式会社 发明人 岩崎由希子;西田彰志;坂口清文;浮世典孝
分类号 C25D11/02(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L31/18(2006.01) 主分类号 C25D11/02(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种阳极化处理设备,在用于阳极化处理的基片的周边部分,包括与基片的背面接触的第一电极和与第一电极相对的第二电极,在它们之间插入基片;第一电极具有与第二电极相同的形状。
地址 日本东京