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发明名称 SPINNER COATER UNIT USING PIEZOELECTRONICS SENSOR AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060008095(A) 申请公布日期 2006.01.26
申请号 KR20040057765 申请日期 2004.07.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, CHUNG SOO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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