器件的制造装置及制造方法、器件制造装置的驱动方法

摘要

一种具有液滴排出装置的器件的制造装置，其包括：喷嘴开口、驱动装置和控制装置，控制装置输出：使压力发生室膨胀的第1信号因素；使处于膨胀状态的压力发生室收缩以从喷嘴开口排出液滴的第2信号因素；和在液滴排出后使压力发生室膨胀的第3信号因素，其中将从第1信号因素的输出开始时到第2信号因素的输出开始时所经过的时间设定为与周期TH相等，并且将从第2信号因素的输出开始时到第3信号因素的输出开始时所经过的时间设定为与周期TH相等，将从第1信号因素的振幅和第3信号因素的振幅的和设定为与第2信号因素的振幅相等，其中：控制装置在压力发生室内部的液体材料的弯液面朝向喷嘴开口侧的状态下输出第2信号因素。

主权项

1.一种器件的制造装置，具有：包括内部容积可变、带有周期TH的亥姆霍兹谐振频率的压力发生室的液滴排出装置，所述装置包括：与上述压力发生室内部连接的喷嘴开口，和使上述压力发生室膨胀及收缩的驱动装置，和对于上述驱动装置输出规定的驱动信号的控制装置；上述控制装置输出：使上述压力发生室膨胀的第1信号因素；使处于膨胀状态的上述压力发生室收缩并以在该压力发生室内部的液体材料作为液滴从上述喷嘴开口排出的第2信号因素；和在上述液滴排出后到输出上述第1信号因素前的状态下使上述压力发生室膨胀的第3信号因素，其中将从上述第1信号因素的输出开始时到上述第2信号因素的输出开始时所经过的时间设定为与上述周期TH实质上相等，并且将从上述第2信号因素的输出开始时到上述第3信号因素的输出开始时所经过的时间设定为与上述周期TH实质上相等，将从上述第1信号因素的振幅和上述第3信号因素的振幅的和设定为与上述第2信号因素的振幅实质上相等，其特征在于：上述控制装置在上述压力发生室内部的液体材料的弯液面朝向上述喷嘴开口侧的状态下输出上述第2信号因素。