发明名称 SPUTTERING TARGET, TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE, AND METHOD FOR PREPARING SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 EP1233082(A4) 申请公布日期 2006.01.25
申请号 EP20000977861 申请日期 2000.11.22
申请人 IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 发明人 INOUE, KAZUYOSHI;SHIBUYA, TADAO;KAIJO, AKIRA
分类号 C03C17/245;C04B35/01;C04B35/453;C04B35/457;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/34;G02F1/1343;(IPC1-7):C23C14/34;C04B35/00 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
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