发明名称 |
SPUTTERING TARGET, TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE, AND METHOD FOR PREPARING SPUTTERING TARGET |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1233082(A4) |
申请公布日期 |
2006.01.25 |
申请号 |
EP20000977861 |
申请日期 |
2000.11.22 |
申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO., LTD. |
发明人 |
INOUE, KAZUYOSHI;SHIBUYA, TADAO;KAIJO, AKIRA |
分类号 |
C03C17/245;C04B35/01;C04B35/453;C04B35/457;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/34;G02F1/1343;(IPC1-7):C23C14/34;C04B35/00 |
主分类号 |
C03C17/245 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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