共光路双频外差共焦显微测量装置

摘要

共光路双频外差共焦显微测量装置，属于表面形貌测量技术领域。为了在提高分辨率和量程的同时保证系统有高的稳定性，本发明公开了一种共光路双频外差共焦显微测量装置，包括横向塞曼双频激光器，依次设置在激光器发射端轴线上的分光镜、第一会聚透镜、第一针孔、第一胶合透镜、第一半透半反镜、双折射透镜组和显微物镜，以及设置在分光镜反射光路上的第一光电探测器；还包括设置在第一半透半反镜的反射光路上的第二半透半反镜，以及分别设置在第二半透半反镜反射光路上的格兰棱镜、第二胶合透镜、第二针孔、第二光电探测器，和设置在透射光路上的光阑、第二会聚透镜、第三光电探测器。本发明具有低漂移和抗振动干扰能力强的特点，且成本较低。

主权项

1.共光路双频外差共焦显微测量装置，其特征在于：该装置包括横向塞曼双频激光器，依次设置在所述激光器发射端轴线上的分光镜(2)、第一会聚透镜(4)、第一针孔(5)、第一胶合透镜(6)、第一半透半反镜(7)、双折射透镜组(8)和显微物镜(9)，以及设置在所述分光镜(2)反射光路上的第一光电探测器(3)；本装置还包括设置在第一半透半反镜(7)的反射光路上的第二半透半反镜(11)，以及分别设置在所述第二半透半反镜(11)反射光路上的格兰棱镜(16)、第二胶合透镜(17)、第二针孔(18)、第二光电探测器(19)，和设置在第二半透半反镜(11)透射光路上的光阑(12)、第二会聚透镜(13)、第三光电探测器(15)。