基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法

摘要

基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法，首先根据所需功能器件出射光场的要求，设计基底材料及金属层结构参数，并按照衍射理论求解功能元件表面的位相关系；然后以功能器件光轴为中心，设置金属通孔，并根据表面等离子增强要求，在上述金属通孔两侧或四周设置多个凹槽或凹孔，根据出射光场的方向要求计算各凹槽或凹孔的结构参数；最后以凹槽或凹孔的深度轨迹形状为周期，对凹槽或凹孔进行重复，从而构成金属微结构纳米列阵功能元件。本发明可将传统的功能器件从微米尺度延伸到纳米尺度，突破了衍射极限限制，为纳光学、纳电子学研究提供了重要手段。

主权项

1、基于金属微纳结构实现电磁波功能器件的方法，其特征在于：通过以下步骤完成：(1)根据所需功能器件出射光场的要求，设计功能器件的结构，包括基底材料及金属层结构参数，并按照惠更斯-菲涅耳衍射理论求解功能元件表面的位相关系；(2)以上述功能器件光轴为中心，设置金属通孔，并根据表面等离子增强要求，在上述金属通孔两侧或四周设置多个凹槽或凹孔，根据出射光场的方向要求计算各凹槽或凹孔的结构参数，包括凹槽或凹孔的宽度、深度、深度轨迹；(3)以凹槽或凹孔的深度轨迹形状为周期，对凹槽或凹孔进行重复，从而构成金属微结构纳米列阵功能元件。