| 主权项 |
1.一种静电夹持吸盘,包括: 一基座,具有一第一端面以及一第二端面; 一陶瓷部,设置于该第一端面之上; 一支撑座,设置于该陶瓷部之上; 一主体,设置于该第二端面之上,并且具有一穿透 孔;以及 至少一抵挡元件,系穿设于该穿透孔之中,并且顶 触于该陶瓷部以及该支撑座,用以顶推该陶瓷部以 及该支撑座以分离于该基座之该第一端面。 2.如申请专利范围第1项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该基座之该第二端面更具有至少一螺孔,以及该 主体更具有至少一固定孔,该主体系藉由一螺钉穿 过该固定孔以及该螺孔而固定于该基座之该第二 端面之上。 3.如申请专利范围第2项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该固定孔系为一滑槽。 4.如申请专利范围第2项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该固定孔系具有一大致上为矩形之形状。 5.如申请专利范围第1项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该抵挡元件更具有一第一螺纹部,以及该主体之 该穿透孔更具有一第二螺纹部,该第一螺纹部系转 动地啮合于该第二螺纹部。 6.如申请专利范围第5项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该抵挡元件更具有一第一抵挡部,系连接于该第 一螺纹部,以及该陶瓷部更具有一第一抵挡孔,该 第一抵挡部系顶触于该第一抵挡孔之中。 7.如申请专利范围第6项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该抵挡元件之该第一抵挡部系以铁氟龙(Teflon)所 制成。 8.如申请专利范围第6项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该抵挡元件更具有一第二抵挡部,系连接于该第 一抵挡部,以及该支撑座更具有一第二抵挡孔,系 连接于该第一抵挡孔,该第二抵挡部系穿过该第一 抵挡孔而顶触于该第二抵挡孔之中。 9.如申请专利范围第8项所述之静电夹持吸盘,其中 ,该第二抵挡部系以金属材料所制成。 10.如申请专利范围第8项所述之静电夹持吸盘,其 中,该抵挡元件更具有一旋锁部,系连接于该第一 螺纹部。 11.如申请专利范围第10项所述之静电夹持吸盘,其 中,该抵挡元件之该第一螺纹部、该第一抵挡部、 该第二抵挡部以及该旋锁部系为一体成形。 12.一种拆卸装置,适用于拆卸一第一物件以及一第 二物件,该第一物件具有一第一端面以及一第二端 面,该第二物件系设置于该第一物件之该第一端面 上,该拆卸装置包括: 一主体,设置于该第二端面之上,并且具有一穿透 孔;以及 至少一抵挡元件,穿设于该穿透孔之中,并且顶触 于该第二物件,用以顶推该第二物件以分离于该第 一物件之该第一端面。 13.如申请专利范围第12项所述之拆卸装置,其中,该 第一物件之该第二端面更具有至少一螺孔,以及该 主体更具有至少一固定孔,该主体系藉由一螺钉穿 过该固定孔以及该螺孔而固定于该第一物件之该 第二端面之上。 14.如申请专利范围第13项所述之拆卸装置,其中,该 固定孔系为一滑槽。 15.如申请专利范围第13项所述之拆卸装置,其中,该 固定孔系具有一大致上为矩形之形状。 16.如申请专利范围第12项所述之拆卸装置,其中,该 抵挡元件更具有一第一螺纹部,以及该主体之该穿 透孔更具有一第二螺纹部,该第一螺纹部系啮合于 该第二螺纹部。 17.如申请专利范围第16项所述之拆卸装置,其中,该 抵挡元件更具有一第一抵挡部,系连接于该第一螺 纹部,以及该第二物件更具有一第一抵挡孔,该第 一抵挡部系顶触于该第一抵挡孔之中。 18.如申请专利范围第17项所述之拆卸装置,其中,该 抵挡元件之该第一抵挡部系以铁氟龙(Teflon)所制 成。 19.如申请专利范围第17项所述之拆卸装置,其中,该 第二物件之上更设置有一第三物件,该抵挡元件更 具有一第二抵挡部,系连接于该第一抵挡部,以及 该第三物件更具有一第二抵挡孔,系连接于该第一 抵挡孔,该第二抵挡部系穿过该第一抵挡孔而顶触 于该第二抵挡孔之中。 20.如申请专利范围第19项所述之拆卸装置,其中,该 第二抵挡部系以金属材料所制成。 21.如申请专利范围第19项所述之拆卸装置,其中,该 抵挡元件更具有一旋锁部,系连接于该第一螺纹部 。 22.如申请专利范围第21项所述之拆卸装置,其中,该 抵挡元件之该第一螺纹部、该第一抵挡部、该第 二抵挡部以及该旋锁部系为一体成形。 23.一种高密度电浆化学气相沉积系统,包括: 一反应室; 一静电夹持吸盘,设置于该反应室之中;以及 一拆卸装置,设置于该静电夹持吸盘之上,系用以 拆卸该静电夹持吸盘。 24.如申请专利范围第23项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该静电夹持吸盘更具有一基 座、一陶瓷部以及一支撑座,该基座具有一第一端 面以及一第二端面,该陶瓷部系设置于该第一端面 之上,以及该支撑座系设置于该陶瓷部之上。 25.如申请专利范围第24项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该拆卸装置更具有一主体以 及至少一抵挡元件,该主体系设置于该第二端面之 上,并且具有一穿透孔,以及该抵挡元件系穿设于 该穿透孔之中,并且顶触于该陶瓷部以及该支撑座 ,用以顶推该陶瓷部以及该支撑座以分离于该基座 之该第一端面。 26.如申请专利范围第25项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该基座之该第二端面更具有 至少一螺孔,以及该主体更具有至少一固定孔,该 主体系藉由一螺钉穿过该固定孔以及该螺孔而固 定于该基座之该第二端面之上。 27.如申请专利范围第26项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该固定孔系为一滑槽。 28.如申请专利范围第26项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该固定孔系具有一大致上为 矩形之形状。 29.如申请专利范围第25项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该抵挡元件更具有一第一螺 纹部,以及该主体之该穿透孔更具有一第二螺纹部 ,该第一螺纹部系转动地啮合于该第二螺纹部。 30.如申请专利范围第29项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该抵挡元件更具有一第一抵 挡部,系连接于该第一螺纹部,以及该陶瓷部更具 有一第一抵挡孔,该第一抵挡部系顶触于该第一抵 挡孔之中。 31.如申请专利范围第30项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该抵挡元件之该第一抵挡部 系以铁氟龙(Teflon)所制成。 32.如申请专利范围第30项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该抵挡元件更具有一第二抵 挡部,系连接于该第一抵挡部,以及该支撑座更具 有一第二抵挡孔,系连接于该第一抵挡孔,该第二 抵挡部系穿过该第一抵挡孔而顶触于该第二抵挡 孔之中。 33.如申请专利范围第32项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该第二抵挡部系以金属材料 所制成。 34.如申请专利范围第32项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该抵挡元件更具有一旋锁部, 系连接于该第一螺纹部。 35.如申请专利范围第34项所述之高密度电浆化学 气相沉积系统,其中,该抵挡元件之该第一螺纹部 、该第一抵挡部、该第二抵挡部以及该旋锁部系 为一体成形。 36.一种拆卸方法,适用于拆卸一第一物件以及一第 二物件,包括下列步骤: 放置一主体于该第一物件之一端面之上; 螺旋地穿入至少一抵挡元件至该主体之至少一穿 透孔之中,直到该抵挡元件之一端紧邻该第二物件 ;以及 转动该抵挡元件以逐渐使该第二物件分离于该第 一物件。 图式简单说明: 第1A图系显示一静电夹持吸盘之俯视示意图; 第1B图系显示本发明之拆卸装置组装于静电夹持 吸盘之仰视示意图; 第2图系显示本发明之拆卸装置之侧视示意图; 第3图系显示本发明之拆卸装置组装于静电夹持吸 盘之剖面示意图; 第4图系显示根据第3图之部份剖面示意图; 第5图系显示本发明之拆卸装置之主体之俯视示意 图; 第6A图显示本发明之拆卸装置之抵挡元件之侧视 示意图;以及 第6B图显示本发明之拆卸装置之抵挡元件之仰视 示意图。 |
