发明名称 Verfahren zur Bildung von erhöhten Source- und Drainzonen in integrierten Schaltungen
摘要
申请公布号 DE69534688(D1) 申请公布日期 2006.01.19
申请号 DE19956034688 申请日期 1995.10.27
申请人 STMICROELECTRONICS, INC. 发明人 CHAN, TSIU CHIU;SMITH, GREGORY C.
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/60;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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