具有回转式磁控管之大面积组件的涂布机

摘要

本发明系有关于一涂布机，特别系使用阴极溅镀以涂布大面积基材，该涂布机具有一涂布室，以及一之阴极组件(2)，其中用以溅镀之材料系设置于一具有弧状表面之靶材(4)上，该溅镀之材料较佳地系设置于一圆柱体之侧表面，并且至少三个以上具有可回转及弧状之靶材(4)之该阴极组件(2)系相邻设置于具有一连续涂布区之单一涂布室内。