化学机械研磨用水系分散体及化学机械研磨方法

摘要

本发明有关一种化学机械研磨用之水系分散体，系以1.5质量％以下的浓度含有含氧化铈之研磨粒之水系分散体，其特征为该研磨粒之平均分散粒径为1.0微米以上。又，本发明有关一种化学机械研磨方法，其特征系使用上述之化学机械研磨用水系分散体研磨绝缘膜者。藉由使用上述化学机械研磨用水系分散体，不会降低研磨速度而可抑制研磨刮伤发生。