光学膜系制备的监控装置

摘要

光学膜系制备的监控装置，属于光学薄膜的镀膜设备，解决现有监控装置设备昂贵，成本高的问题。本发明在真空室内设置有坩埚或舟、挡板、比较片和夹具，夹具下方位置装有可转动的复合调制板；光源入射光通过真空室入射窗口到达比较片、经反射后通过出射窗口直接耦合进光导纤维，再顺序进入光信号探测器、膜厚控制仪；复合调制板由径向均匀开有M个扇形孔的两块相同的圆形板叠合而成。本发明可以提高镀制规整膜系的监控精度，准实时监控膜料折射率，通过监控规整膜系来镀制非规整膜系，精确镀制紫外膜系，还可简化通用镀膜机的光控系统，降低成本并提高该系统的信噪比和监控精度。在现有一般的镀膜机上进行简单的改造即可完成，简便易行，通用性好。

主权项

1、一种光学膜系制备的监控装置，在真空室内设置有坩埚或舟、其上方有挡板，真空室内上部设置有比较片和夹具，所述比较片为多工位比较片，薄膜制备过程中可以轮换；光源发出入射光通过真空室底部的入射窗口到达比较片、经反射后通过真空室底部的出射窗口直接耦合进光导纤维，其中的光信号再顺序进入光信号探测器、膜厚控制仪；其特征在于所述真空室中的夹具下方位置装有可转动的复合调制板；所述复合调制板由径向均匀开有M个扇形孔的两块相同的圆形板叠合而成，所述圆形板为球面形金属薄板，圆形板圆心处开有圆孔、其直径略大于控制片的直径。