发明名称 |
用于膜淀积的方法和设备 |
摘要 |
提供一种淀积具有多个功能区的有机化合物层的方法和设备。在淀积室内提供多个蒸发源。可以连续形成各个有机化合物的功能区,并在功能区之间的界面中形成混合区。同时,在淀积室内提供光源,以便在向阳极表面照射光的同时进行淀积,由此形成致密的有机化合物层。 |
申请公布号 |
CN1236504C |
申请公布日期 |
2006.01.11 |
申请号 |
CN02104783.9 |
申请日期 |
2002.02.21 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
山崎舜平;濑尾哲史;柴田典子 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01);H05B33/10(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
陈景峻;梁永 |
主权项 |
1、一种淀积层的方法,包括:在淀积室内,通过在电极上方蒸发第一有机化合物形成第一功能区;在淀积室内,通过在第一功能区上蒸发第一有机化合物和第二有机化合物形成混合区,同时对所蒸发的第一有机化合物、所蒸发的第二有机化合物和所形成的混合区照射光;和在淀积室内,通过在混合区上蒸发第二有机化合物形成第二功能区。 |
地址 |
日本神奈川县 |