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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060000448(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040049310 申请日期 2004.06.29
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 BAE, YOUNG HO;YUN, JIN HEE;NA, MUN IK;EOM, TAE SUNG;LEE, SEUNG LYUL;KIM, KYOUNG SHIK;AHN, SEONG HWAN
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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