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发明名称 CONDITIONER OF CMP APPARATUS PROVIDED WITH RING TYPE POLISHING TIP
摘要
申请公布号 KR20060001125(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040050155 申请日期 2004.06.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 HWANG, EUNG RIM
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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