| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zur Bearbeitung eines Substrates (11) mittels mindestens eines Plasma-Jets (13), umfassend ein Behältnis (15), durch welches ein Trägergas entlang einer Strömungsrichtung (x) hindurchströmt, und umfassend eine erste Elektrode (17) und eine zweite Elektrode (18). DOLLAR A Die Besonderheit besteht darin, dass die beiden Elektroden (17, 18) durch wenigstens eine dielektrische Barriere (15) voneinander getrennt sind, dass zwischen den Elektroden (17, 18) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Glimmentladungs-Plasmas eine Wechselspannung angelegt wird und dass die erste Elektrode (17) von der zweiten Elektrode (18), bezogen auf die Strömungsrichtung (x) des Trägergases, axial (L) und radial (R) beabstandet ist. |
