| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0405500(A3) |
申请公布日期 |
1992.09.09 |
| 申请号 |
EP19900112252 |
申请日期 |
1990.06.27 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
HIRAKAWA, KENJI, C/O INTELLECTUAL PROP. DIV. |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/768;H01L29/417;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
