| 发明名称 | 带有线性驱动单元的真空密封设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种真空处理装置和一种设备，用于密封，尤其是真空密封缝隙，特别是其长度优选地是宽度的多倍的缝状或矩形缝隙，特别是用于真空处理装置的闭锁配置，该设备具有一个关闭件(2)和用于该关闭件的线性驱动单元(3、4、5)，所述线性驱动单元通过平移运动可将该关闭件由打开位置移动至关闭位置，所述关闭件有一个设置在平面(16)上的密封面，并且在关闭的位置时，该密封面在缝隙一侧与反密封面密封接触，所述平面的移动方向与平移方向(14)横切并与缝隙的法向(13)成一定倾斜角度。 | ||
| 申请公布号 | CN1715718A | 申请公布日期 | 2006.01.04 |
| 申请号 | CN200510073265.5 | 申请日期 | 2005.06.03 |
| 申请人 | 应用薄膜有限责任与两合公司 | 发明人 | 斯特凡·班格特;迈克尔·亨齐克;拉尔夫·林登贝格;乌韦·许斯勒;托比亚斯·施托莱;弗兰克·富克斯 |
| 分类号 | F16K1/00(2006.01);F16K51/00(2006.01) | 主分类号 | F16K1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王昭林;方诗龙 |
| 主权项 | 1.一种设备，用于密封，尤其是真空密封缝隙，特别是其长度优选地是宽度的多倍的缝状或矩形缝隙，特别是用于真空处理装置的闭锁配置，该设备具有一个关闭件(2)和用于该关闭件的线性驱动单元(3、4、5)，所述线性驱动单元通过平移运动可将该关闭件由打开位置移动至关闭位置，其特征在于：所述关闭件有一个设置在平面(16)上的密封面，并且在关闭的位置时，该密封面在缝隙一侧与反密封面密封接触，所述平面的移动方向与平移方向(14)横切并与缝隙的法向(13)成一定倾斜角度。 | ||
| 地址 | 联邦德国阿尔泽瑙 | ||