微操作探针

摘要

本发明公开了属于显微镜的零部件范围的涉及适用于光学显微镜和电子显微镜下的微操作工作，同时向被观察体加载力、电、磁信号的一种微操作探针。在真空室外部的机械螺旋传动装置X/Y调节和Z调节轮通过密封圈和滑动杆密封连接，滑动杆通过密封圈和滑动腔密封连接，滑动腔通过密封圈和真空室连接；在滑动杆的前端头和串联连接的Z向压电陶瓷管、压电陶瓷管连接器、X/Y向压电陶瓷管及探针、探针连接器连接。本发明同时解决信号传输、真空密封、操作运动、机械稳定性问题。实现四自由度上对微小物体的操控，机械部分操作完全手动，精度达微米量级，通过调节加在压电陶瓷管上的电压实现纳米级操作。解决了纳米操控与信号施加的不协调的矛盾。

主权项

1.一种微操作探针，其特征在于：在真空室外部的机械螺旋传动装置X/Y调节(3)和Z调节轮(4)通过密封圈(13)、调节垫(6)和滑动杆(2)密封连接，滑动杆(2)通过密封圈(11)和滑动腔(1)密封连接，滑动腔(1)通过其大圆盘上的密封圈(12)直接和真空室连接；密封插头(15)通过密封圈(16)和Z调节轮(4)的端口封(5)密封连接；在滑动杆(2)的前端头和串联连接的Z向压电陶瓷管(7)、压电陶瓷管连接器(10)、X/Y向压电陶瓷管(8)及探针连接器(9)连接，探针(14)固定探针连接器(9)的中央孔内。