具有晶圆密封机构之改良型浸润式微影系统

摘要

本发明系一浸润式微影系统，包括液体以及一密封垫圈。此液体之特征提供一浸润流体以在晶圆上进行浸润式微影，此密封垫圈覆盖于晶圆之边缘之预设部位，当液体运用于浸润式微影制程中时，可以防止浸润液体透过晶圆之边缘之覆盖部位泄漏出来。