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经营范围
发明名称
Manufacturing apparatus
摘要
申请公布号
SG117503(A1)
申请公布日期
2005.12.29
申请号
SG20040004064
申请日期
2004.06.14
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
发明人
JUNICHIRO SAKATA
分类号
H05B33/10;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/00;H01L51/50
主分类号
H05B33/10
代理机构
代理人
主权项
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