八氟丙烷的纯化方法、其制备方法及其用途

摘要

本发明的纯化八氟丙烷的方法包括以下步骤：使含有杂质的粗八氟丙烷与杂质分解剂在高温下接触，然后与吸附剂接触，以便从粗八氟丙烷中基本上除去杂质。根据本发明的纯化或制备八氟丙烷的方法，可以基本上除去杂质例如氯化合物，并容易地获得高纯度的八氟丙烷。通过本发明的纯化方法获得的八氟丙烷基本上不含杂质，所以可用作半导体设备等的生产工艺中的蚀刻或清洁气体。

主权项

1.一种纯化八氟丙烷的方法，包括以下步骤：使含有杂质的粗八氟丙烷与杂质分解剂在高温下接触，然后与吸附剂接触，以便从所述粗八氟丙烷中基本上除去所述杂质，其中所述杂质分解剂包括铁氧化物和碱土金属化合物，和所述吸附剂是选自活性炭、分子筛和分子筛碳中的至少一种。