发明名称 WATER SOLUBLE NEGATIVE PHOTORESIST POLYMER AND COMPOSITION CONTAINING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050120268(A) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 KR20040045552 申请日期 2004.06.18
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, GEUN SU
分类号 G03F7/039;G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
地址