| 发明名称 |
INSPECTION METHOD AND INSPECTION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1574866(A4) |
申请公布日期 |
2005.12.21 |
| 申请号 |
EP20030777392 |
申请日期 |
2003.12.09 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
SHINOZAKI, DAI;KOMATSU, SHIGEKAZU |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R31/28;G01R31/3161;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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