发明名称 СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ ОБЛАСТЕЙ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
摘要
申请公布号 RU1400386(C) 申请公布日期 2005.12.20
申请号 SU19864127841 申请日期 1986.10.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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