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发明名称
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ ОБЛАСТЕЙ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
摘要
申请公布号
RU1400386(C)
申请公布日期
2005.12.20
申请号
SU19864127841
申请日期
1986.10.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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