发明名称 用以同时对CMP垫平面切削及起槽的切削工具CUTTING TOOL FOR SIMULTANEOUS FACING AND GROOVING OF CMP PAD
摘要 本发明系有关一种切削工具,可以同时在一目标表面上实施一平面切削操作与一起沟操作,该切削工具具有一平面切削部与一起沟部,其中起沟部系突出且可与该平面切削部一体成形。平面切削部具有一平面切削表面,用以实施平面切削操作,而起沟部具有一起沟表面,当切削工具在平行于目标表面的一预定前进方向上移动时,起沟部可用于同时在该目标表面上切出预定深度与宽度的一沟槽。平面切削部与起沟部的尺寸、表面粗糙度、以及平面切削表面与起沟表面相对于前进方向的切削边缘角与倾斜角,这些均必须位于一规定的范围内。在起沟部突出于平面切削部之处,平面切削表面连结至起沟部的侧表面之处,形成多数角落,使得每个角落均具有一斜面部。
申请公布号 TW200539974 申请公布日期 2005.12.16
申请号 TW094107039 申请日期 2005.03.08
申请人 米朋克斯国际公司 发明人 小高一郎;永拓也;小林俊浩
分类号 B23D13/00;B23B27/06 主分类号 B23D13/00
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 美国