加热装置

摘要

本发明揭示一种加热装置，其系刚性的，即弯曲的可能性很小。该工件安装表面具有高导热率，并且热均匀性得到改善，有可能进行快速的冷却。本发明之加热装置包含：一安装部分，其用于安装该工件；一加热部分，其具有一电阻加热元件并且其加热该安装部分；以及一支撑部分，其支撑该安装部分与加热部分。该安装部分与支撑部分各自的杨氏模数为100GPa或更大。藉由具有100GPa或更大的杨氏模数，即使该安装部分系薄的，当被一探针卡挤压时，也仅会造成极小的变形。