Quarzglasrohling und Verfahren zur Herstellung desselben

摘要

Die Erfindung betrifft einen Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil zur Übertragung von Strahlung einer Wellenlänge von 15 nm und kürzer aus einem hochreinen, mit Titan und/oder Fluor dotiertem Quarzglas, das durch eine extrem hohe Homogenität gekennzeichnet ist. Die Homogenität bezieht sich auf folgende Merkmale: DOLLAR A a) Mikroinhomogenitäten durch lokale Varianz der TiO¶2¶-Verteilung (< 0,05% TiO¶2¶, gemittelt über ein Volumenelement von (5 mum)·3· gegenüber dem Mittelwert des TiO¶2¶-Gehalts), DOLLAR A b) eine absolute, maximale Inhomogenität im thermischen Ausdehnungskoeffizienten DELTAalpha in Hauptfunktionsrichtung (< 5 ppb/K), DOLLAR A c) eine radiale Varianz des thermischen Ausdehnungskoeffizienten über die nutzbare Fläche des Quarzglasrohlings von maximal 0,4 ppb/(K·.·cm); DOLLAR A d) eine Spannungsdoppelbrechung (SDB) bei 633 nm in Hauptfunktionsrichtung von maximal 2 nm/cm mit einem speziellen Verlauf und DOLLAR A e) ein spezieller Verlauf des nach (b) gemittelten DELTAalpha auf der optischen Fläche. DOLLAR A Dieser Quarzglasrohling ist nur erhältlich, indem ein durch Flammenhydrolyse einer Silizium-enthaltenden und einer Titan-enthaltenden und/oder Fluor-enthaltenden Verbindung erhaltenes dotiertes Quarzglas als großvolumiger, stangenförmiger Ausgangskörper zu einem homogenen Quarzglasrohling mittels mehrerer Umformschritte umgeformt und homogenisiert wird.