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Vorrichtung zur Lagebestimmung eines Halbleitersubstrats auf einer Rotationsvorrichtung mit einer Rotationsachse, mit einer Drehrichtungserfassungseinheit zur Bestimmung des Drehzustandes der Rotationsvorrichtung, mit wenigstens einer Lichtquelle und wenigstens einem für das Licht der Lichtquelle lichtempfindlichen Empfänger, wobei wenigstens ein von der Lichtquelle emittiertes Lichtbündel auf den Rand des Halbleitersubstrats gerichtet ist und diesen wenigstens teilweise passiert. Das wenigstens teilweise passierte Licht des Lichtbündels wird vom Empfänger wenigstens teilweise erfasst. Lichtquelle, Empfänger und Rotationsvorrichtung bilden eine Exzentrizitätsmessanordnung für ein auf die Rotationsvorrichtung aufgelegtes Halbleitersubstrat, wobei über ein Verfahren die Lage des Halbleitersubstrats auf der Rotationsvorrichtung erfasst wird, indem wenigstens ein Lichtbündel den Rand des Halbleitersubstrats wenigstens teilweise passiert, und dann das wenigstens teilweise passierte Licht des Lichtbündels wenigstens teilweise mit einem Empfänger erfasst wird.
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