| 发明名称 | 使用覆盖层的无定形材料相变方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供无定形材料的相变方法，包括以下步骤：在电介质衬底上沉积无定形材料；在无定形材料上形成覆盖层；在覆盖层上沉积金属；使无定形材料结晶。根据本发明，无定形材料的表面被覆盖层所保护，从而获得洁净表面并且在热处理和样品处理期间显著降低表面粗糙度。而且，将覆盖层置于无定形材料和金属之间来扩散金属，从而显著减少由于在传统方法中金属和无定形材料直接接触所导致的金属污染。 | ||
| 申请公布号 | CN1708832A | 申请公布日期 | 2005.12.14 |
| 申请号 | CN200380102493.X | 申请日期 | 2003.11.06 |
| 申请人 | 张震 | 发明人 | 张震;崔钟炫;金都荣;秋秉权 |
| 分类号 | H01L21/20 | 主分类号 | H01L21/20 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘继富;顾晋伟 |
| 主权项 | 1.无定形材料的相变方法，包括以下步骤：在电介质衬底上沉积无定形材料；在无定形材料上形成覆盖层；在覆盖层上沉积金属；和对无定形材料进行相变。 | ||
| 地址 | 韩国汉城 | ||