上下倒置的光电检测器

摘要

通过允许光(20)经由衬底层(1)入射，并将表面层(3)用作反射镜，从而上下倒置地使用光电二极管，根据这一基本思想可以改进光电二极管的效率。这样，外延层(2)就近似有两倍的机会将光子转变为电子空穴对：在光子来自衬底层(1)时的第一次通过过程中将光子转变为电子空穴对，或者在光子被表面层(3)反射之后的第二次通过过程中将光子转变为电子空穴对。表面层(3)包括金属条(6、7、8)和金属反射镜(9、10)，并且包括与焊点凸起(4、5)相连的金属区域(15、16)，所述焊点凸起用于将所述光电检测器精确安装到柔性印刷电路板上。外延层(2)和该外延层(2)中的区域(17、18、19)构成了第一个二极管的电极，外延层(2)和衬底层(1)构成了第二个二极管的电极，当把两个二极管的光电流相加时，所述效率近似再次加倍。衬底层(1)包括硅上绝缘体和/或刻蚀限位块，从而能够通过击除硅和/或刻蚀直到所述刻蚀限位块为止来容易地使该衬底层变薄。

主权项

1.一种用于转变经由光电检测器的至少一侧入射的至少一个光信号的光电检测器，其包括至少一个衬底层、至少一个外延层和至少一个表面层，其中所述一侧包括所述衬底层，并且所述表面层具有用于反射至少部分所述光信号的反射镜功能。