发明名称 |
球差检测 |
摘要 |
本发明涉及一种检测球差的光学设备。该光学设备包括:用于将具有第一数值孔径的第一辐射光束(203)和具有小于第一数值孔径的第二数值孔径的第二辐射光束(204)聚焦到信息载体(200)上的装置(206、208)。该光学设备还包括用于检测对应于第一辐射光束的第一聚焦误差信号和对应于第二辐射光束的第二聚焦误差信号的装置(211)。为了测量由于信息载体覆盖层厚度变化引起的第一辐射光束的球差,该光学设备包括用于根据第一和第二聚焦误差信号测量第一辐射光束球差的装置(212)。 |
申请公布号 |
CN1705989A |
申请公布日期 |
2005.12.07 |
申请号 |
CN200380101886.9 |
申请日期 |
2003.10.01 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
B·亨德里克斯 |
分类号 |
G11B7/09;G11B7/125;G11B7/135;G02B27/00;G01M11/00 |
主分类号 |
G11B7/09 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
王岳;陈景峻 |
主权项 |
1.一种光学设备,包括:-用于将具有第一数值孔径的第一辐射光束(203)和具有与第一数值孔径不同的第二数值孔径的第二辐射光束(204)聚焦到信息载体(200)上的装置(206、208);-用于检测对应于第一辐射光束的第一聚焦误差信号和对应于第二辐射光束的第二聚焦误差信号的装置(211);-用于根据第一和第二聚焦误差信号测量第一辐射光束球差的装置(212)。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |