发明名称 |
带凹槽的溅射靶 |
摘要 |
此方法制造了溅射靶组件(30)。其首先包括制造靶芯(10)的步骤。靶芯(10)具有屈服强度、直径、高度、平坦的顶面和圆锥状的底面(12)。接着制造背板(20)。背板(20)具有与靶芯(10)直径一致的圆柱形凹槽(22)。圆柱形凹槽(22)的深度小于靶芯(10)的高度,其屈服强度也小于靶芯(10)的屈服强度。最后,将靶芯(10)压入背板(20)的圆柱形凹槽(22),以将靶芯(10)结合到背板(20)上,从而形成靶组件(30)。压制的靶组件(30)包括带有圆锥形底面(12)的靶芯(10)。 |
申请公布号 |
CN1229515C |
申请公布日期 |
2005.11.30 |
申请号 |
CN02810802.7 |
申请日期 |
2002.05.08 |
申请人 |
普莱克斯S.T.技术有限公司 |
发明人 |
T·J·亨特;H·J·克尼斯曼;P·S·吉尔曼 |
分类号 |
C23C14/34;B23K28/00;B23K33/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
温大鹏;章社杲 |
主权项 |
1.一种制造溅射靶组件(30)的方法,其包括以下步骤:a)制造一个接近最终形状的靶芯(10),靶芯(10)具有圆锥状的底面(12);b)制造一个背板(20),背板(20)具有与靶芯(10)直径一致的圆柱形凹槽(22),圆柱形凹槽(22)的深度小于靶芯(10)的高度,其屈服强度小于靶芯(10)的屈服强度;和c)将靶芯(10)压入背板(20)的圆柱形凹槽(22),使其达到塑性变形状态,以便将靶芯(10)扩散结合到背板(20)上,从而形成靶组件(30),靶组件(30)包括带有圆锥形底面(12)的靶芯(10)。 |
地址 |
美国康涅狄格州 |