抗蚀材料以及图案形成方法

摘要

一种包含基础聚合物的抗蚀材料，其中基础聚合物中含有的化合物包含由以化学式1的通式所表示的第一单元和以化学式2的通式所表示的第二单元共同形成的共聚物，其中R¹、R²、R³、R⁷、R⁸和R⁹相同或者不同，为氢原子、氟原子、碳原子数为1～20的直链烷基、支链或环烷基、或者氟代烷基；R⁴是碳原子数为0～20的直链亚烷基、或者支链或环状亚烷基；R⁵和R⁶相同或者不同，为氢原子、碳原子数为1～20的直链烷基、支链或环烷基、氟代烷基、或者由酸脱离出来的保护基。

主权项

1.一种包含基础聚合物的抗蚀材料，其中基础聚合物含有的化合物包含由以下化学式1的通式所表示的第一单元和以下化学式2的通式所表示的第二单元形成的共聚物，化学式1：化学式2：其中R¹、R²、R³、R⁷、R⁸和R⁹相同或者不同，为氢原子、氟原子、碳原子数为1～20的直链烷基、支链或环烷基、或者氟代烷基；R⁴是碳原子数为0～20的直链亚烷基、或者支链或环状亚烷基；R⁵和R⁶相同或者不同，为氢原子、碳原子数为1～20的直链烷基、支链或环烷基、氟代烷基、或者由酸脱离出来的保护基。