发明名称 | 氮化铝烧结体 | ||
摘要 | 一种氮化铝烧结体,该烧结体含有平均晶粒尺寸(D<SUB>50</SUB>)为0.1~2.5μm的晶粒,具有不大于1×10<SUP>-7</SUP>的孔隙面积比,其直径不小于1μm孔隙的孔隙密度不大于0.05孔/mm<SUP>2</SUP>,以及其Vicker硬度为14~17GPa。尽管该氮化铝烧结体具有比较小的晶粒尺寸,它具有很小的孔隙密度,其特征在于优异的强度和镜面机械加工性能,特别可用作在其上面形成精细布线图案的电路基底材料。 | ||
申请公布号 | CN1701050A | 申请公布日期 | 2005.11.23 |
申请号 | CN03825296.1 | 申请日期 | 2003.09.17 |
申请人 | 株式会社德山 | 发明人 | 金近幸博;三木俊克;甲斐绫子 |
分类号 | C04B35/58;C04B35/64 | 主分类号 | C04B35/58 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 范赤;庞立志 |
主权项 | 1.一种氮化铝烧结体,该烧结体含有平均晶粒尺寸(D50)为0.1~2.5μm的晶粒,具有不大于1×10-7的孔隙面积比,其直径不小于1μm孔隙的孔隙密度不大于0.05孔/mm2,以及其Vicker硬度为14~17GPa。 | ||
地址 | 日本山口县周南市 |