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<p>Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen angegeben, mit einer um ihre Spindelachse rotierend antreibbaren Spindel, an der eine Aufnahme zum Einspannen eines Werkstückes vorgesehen ist, mit einem Aktor (30), der einen schnellen Antrieb (36), insbesondere einen Piezoantrieb, zur Erzeugung einer schnellen Bewegung eines Werkzeugs (32) in einer zur Werkstückoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung aufweist, wobei der Aktor (30) mittels eines weiteren Antriebes (24) zur Erzeugung eines linearen Vorschubes in einer ersten Richtung entlang einer zu bearbeitenden Werkstückoberfläche positionierbar, ist, wobei der schnelle Antrieb (36) mit dem Werkzeug (32) über eine Führungseinrichtung (38) gekoppelt ist, die eine Zustellung des Werkzeugs (32) in Axialrichtung des schnellen Antriebs (36) entgegen einer Rückstellkraft erlaubt und in einer Ebene senkrecht dazu eine hohe Steifigkeit aufweist. Die angewandte Steuerungstechnik erlaubt unter Ausnutzung der dynamischen Systemeigenschaften eine präzise und reproduzierbare Herstellung von Mikrostrukturen .</p> |
