发明名称 Detektorsystem, Interferenz-Meßsystem und optisches Meßverfahren
摘要
申请公布号 DE10252314(B4) 申请公布日期 2005.11.17
申请号 DE2002152314 申请日期 2002.11.11
申请人 CARL ZEISS 发明人 GAIDA, GERHARD
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01J9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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