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经营范围
发明名称
Detektorsystem, Interferenz-Meßsystem und optisches Meßverfahren
摘要
申请公布号
DE10252314(B4)
申请公布日期
2005.11.17
申请号
DE2002152314
申请日期
2002.11.11
申请人
CARL ZEISS
发明人
GAIDA, GERHARD
分类号
G01B9/02;(IPC1-7):G01J9/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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