用离子束对聚合物,金属和陶瓷材料进行表面改性的装置

摘要

公开了一种用离子束(IB)对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置，该装置能够提供并控制一种施加于材料上进行表面改性的电压(220)以控制照射到该材料上的离子束的能量，能够区别在部分真空室中的反应气体的真空度，在该真空室中离子束从产生离子束的部分照射，而且该装置也能够用于两面照射处理和连续处理。

主权项

1.一种用离子束对材料进行连续的表面改性的装置，该装置包括：室腔；位于所述室腔进口的第一真空设施和第二真空设施，以及位于所述室腔出口的另外第一真空设施和另外第二真空设施，所述第一真空设施和所述第二真空设施使得所述室腔中的真空度在反应区域中是最高的；每个带有一个离子枪的、安装在室腔的上部或下部、或者安装在室腔中至少二个相对位置的、用于分别产生离子束并分别将离子束照射到希望进行表面改性的材料的前和/或后或对面的一个或多个离子源；用于输送所述材料的设施；和用于将反应气体输送到被从离子源产生的离子束照射的材料的相应表面的反应气体输送设施，其中该材料被连续输送到室腔中的照射离子束的反应区域，并从该反应区域中取出。