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VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN, LAGERN UND BESCHICKEN VON TRÄGERN FÜR SCHEIBENFÖRMIGE GEGENSTÄNDE
摘要
申请公布号
AT309614(T)
申请公布日期
2005.11.15
申请号
AT20010931619T
申请日期
2001.04.18
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG
发明人
LERING, MICHAEL;MISSALE, REINER;PEITER, MARTIN
分类号
B08B7/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B08B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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