光学传递函数的测量方法及其装置

摘要

本发明涉及利用光学空间滤波器，进行光学传递函数测量的装置，包括激光器1、光束整形系统2、减光板3、矩形光栅4、傅立叶变换透镜5、光学空间滤波器6、变焦准直系统7、限制性光栏8、待测光学系统9、变倍放大系统10、面阵CCD11、计算机处理系统12。方法是调节光学空间滤波器，在基频正弦光强像的基础上产生二倍频、三倍频的正弦光强像，调整减光板使基频同二倍频、三倍频的正弦光强像的光强接近，比较输入和输出到面阵CCD的正弦光强像振幅衰减和位相移动，得到光学传递函数测量值，因此避免制作正弦光栅的困难；采用激光光源，提高了光度效率；数学处理简单；各种光学元件均采用常用器件，使制作容易，可在实验室简单配置，亦可批量生产。

主权项

1、光学传递函数的测量装置，包括：矩形光栅(4)、变焦准直系统(7)、待测光学系统(9)、变倍放大系统(10)、面阵CCD(11)、计算机处理系统(12)，其特征在于还包括：激光器(1)、光束整形系统(2)、减光板(3)傅立叶变换透镜(5)、光学空间滤波器(6)、限制性光栏(8)，光束整形系统(2)位于激光器(1)的后面，对激光束扩束、准直、整形；减光板(3)位于光束整形系统(2)的后面；矩形光栅(4)位于减光板(3)的后面，使矩形光栅(4)定位在傅立叶变换透镜(5)的前焦平面上；光学空间滤波器(6)位于傅立叶变换透镜(5)的后焦平面上，并定位在变焦准直系统(7)的前焦平面上；限制性光栏(8)定位在变焦准直系统(7)的后焦平面上；待测光学系统(9)的前焦平面定位在限制性光栏(8)的附近。