在涂覆形成的夹层绝缘膜上具有透明导电膜的液晶显示器

摘要

制作一种液晶显示器，该液晶显示器具有以栅格形的方式设置的总线、与总线耦合的开关元件、在涂覆形成的夹层绝缘膜上设置的象素电极，象素电极与开关元件耦合。在制作液晶显示器中，当在涂覆形成的夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，基片温度控制为100℃-170℃。另一方面，当在非加热状态下在夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，将氧流速比设置为1％或更低，在形成膜之后进行退火。从而，当在夹层绝缘膜上刻蚀ITO膜时，不产生腐蚀残渣。此外，能一致地减少在ITO膜和下层金属之间的接触电阻，并避免显示缺限。

主权项

1、一种制作液晶显示器的方法，该液晶显示器具有以栅格形的方式设置在基片上的总线、与总线耦合的开关元件、在涂覆形成的夹层绝缘膜上设置的由透明导电膜形成的象素电极，象素电极通过夹层绝缘膜形成的接触通孔与开关元件耦合，所述方法包括：当在夹层绝缘膜上形成透明导电膜时，基片的温度控制为100℃-170℃。